주성엔지,반도체소자 제조용 클러스터 장비 특허 취득

입력2006.04.02 20:34 수정2006.04.02 20:37

주성엔지니어링은 반도체 소자 제조용 클러스터 장비에 대해 특허취득했다고 4일 밝혔다. 회사측에 따르면 이 특허의 클러스터 장비를 사용할 경우 기판의 냉각지연으로 인한 공정 병목 현상을 제거할 수 있다는 것이다. 투자액은 5억원. 회사는 이 특허로 반도체 장비의 경쟁력이 강화될 것으로 기대하고 있다. [한경닷컴 뉴스팀]

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