연구원들이 DGIST 중앙기기센터에서 반도체소자 검사용 마이크로스코프 등 첨단분석장비를 활용해 연구하고 있다. /DGIST 제공
연구원들이 DGIST 중앙기기센터에서 반도체소자 검사용 마이크로스코프 등 첨단분석장비를 활용해 연구하고 있다. /DGIST 제공
DGIST(총장 국양)는 기업의 기술 개발을 지원하기 위해 중앙기기센터를 개방한다고 18일 발표했다.

국양 DGIST 총장은 “그동안에는 기술을 이전하거나 공동개발하는 기업에만 중앙기기센터를 개방했으나 일본의 수출규제로 어려움을 겪고 있는 기업에 힘을 보태기 위해 장비가 필요한 모든 기업에 공개한다”고 말했다.

중앙기기센터는 국내 최고 수준의 반도체 소자클린룸(FAB)을 보유하고 있다. 이곳에는 실리콘계 반도체 공정, 미세전자제어기술(MEMS), 통신소자, 센서, 마이크로 가공, 계측 시뮬레이션 및 나노·바이오 분석을 위한 공용장비 등 160억원 상당의 170여 대 인프라가 구축돼 있다.

반도체 미세박막용 전구체 제조기업인 A사는 투과전자현미경(TEM)을 활용한 극미세 나노분석 기술을 지원받아 대기업과 해외 기업에 납품하기 위한 유효성 테스트를 하고 있다. 일본의 수출규제 대상 품목인 포토레지스트를 개발한 B사는 테스트 베드를 제공받아 제품 국산화를 추진 중이다.

DGIST는 중앙기기센터의 장비나눔과 함께 기술자문단을 구성해 소재·부품·장비 독자기술 개발도 지원한다. 자문위원에는 DGIST 소속 182명의 교수·연구원·기술원이 참여한다. 기술자문단은 기업과 연구자를 1 대 1로 매칭시켜 현장 중심의 기술 자문에 나선다.

대구=오경묵 기자 okmook@hankyung.com