어플라이드비전텍(대표 최병곤)이 반도체 웨이퍼를 검사하는 영상자동검사장치를 개발했다. 웨이퍼의 현상 공정 중에 발생하는 결함을 찾아주는 장치다. 회사측은 설치된 카메라가 1미크론 크기까지 결함을 파악해 24시간 실시간 영상으로 보여준다고 설명했다. 또 전 공정과장은 PC를 통해 통계적으로 분석된다. 무인자동운전이며 불량이 발생하면 알람시스템을 통해 신속하게 알려준다. 이미 삼성전자 반도체 공정에서 사용되고 있다. (031)285-0907 문혜정 기자 selenmoon@hankyung.com