[이달의 산업기술상] 김광현 아바코 대표, 플렉시블 디스플레이 증착 장비 기술 국산화
김광현 아바코 대표(사진)는 폭 1500㎜ 플렉시블 기판에 산화물 박막트랜지스터 증착을 위한 스피터 장비 실용화 기술을 개발했다.

TFT-LCD(박막트랜지스터 액정표시장치) 시장이 정체기에 진입하면서 차세대 디스플레이 논의가 활발하다. 산화물 TFT도 그중 하나다. 산화물 TFT는 기존 아몰퍼스실리콘(a-Si) 방식보다 전자이동도가 우수한 게 특징이다. 대형 화면에서 고해상도와 고속구동을 가능케 한다는 점에서 각광받고 있다.

그런데 산화물 TFT는 소자 제조 과정에서 발생하는 고(高)에너지 입자가 박막 손상을 유발한다는 문제점이 있었다. 아바코는 마이크로파를 이용해 에너지 입자 발생을 줄이는 기술을 개발했다. 산화물 소자 제작 과정에 저온 증착 기술을 접목해 박막 특성을 대폭 개선했다.

이 기술을 활용하면 480㎐ 이상의 고속구동 패널 개발이 가능하다. 플렉시블 디스플레이 등 차세대 디스플레이 패널을 개발하는 데도 중요한 ‘기폭제’가 될 것이라는 평가가 나온다.

김 대표는 “그동안 수입에 의존한 증착장비 개발에 성공함에 따라 209억원 정도 수입대체 효과를 기대한다”며 “중국 대형 패널 제조사에서 수주할 것이 확실시되는 등 상당 규모의 수출이 예상된다”고 말했다.

오형주 기자 ohj@hankyung.com