SK하이닉스, 반도체 공정용 네온가스 첫 국산화

배성수 기자

입력2022.10.05 18:01 수정2022.10.06 01:28 지면A13

SK하이닉스는 국내 업계 최초로 반도체 필수 원료인 네온(Ne) 가스 국산화에 성공해 공정 도입 비중을 40%까지 확대했다고 5일 발표했다. 네온은 반도체 노광공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스의 주재료다.

SK하이닉스는 네온 수급 불안 위험을 선제적으로 해소하기 위해 협력사인 반도체용 가스 제조기업 TEMC, 포스코와 손잡고 네온을 국내에서 생산할 방법을 찾았다. TEMC와 포스코는 기존 설비를 활용해 적은 비용으로 네온 생산 기술을 개발했다. SK하이닉스는 이렇게 생산한 국산 네온을 평가·검증하는 방식으로 올해 초 국산화에 성공했다.

SK하이닉스는 올해 4월 국산 네온을 도입해 현재까지 전체 사용량의 40% 수준을 국산으로 대체했다. 2024년에는 네온 전량을 국내산으로 대체할 예정이다. SK하이닉스는 내년 6월까지 식각 공정에 들어가는 크립톤·제논 가스도 국산화할 계획이다.

배성수 기자 baebae@hankyung.com

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