에이펫의 반도체 세정기. 에이펫 제공
에이펫의 반도체 세정기. 에이펫 제공
하나의 반도체를 만들려면 실리콘 웨이퍼(얇은 원판)에 회로를 입히기위해 필름을 올리고 이를 다시 깎고 세정하는 작업을 100번이상 반복해야한다. 특히 전체 공정의 3분의 1을 차지하는 세정 작업은 반도체의 최종 품질을 결정하는 핵심 공정이다. 반도체 장비업체 에이펫는 세정 공정의 핵심인 웨이퍼 세정기(웻스테이션)와 건조기(드라이어)를 동시에 생산하는 국내 유일한 회사다. 매출의 81%가 전세계 14개국 수출에서 나오며 주요 납품처는 삼성전자, SK하이닉스를 비롯해 대만 TSMC, 미국의 마이크론 등 세계적인 반도체회사들이다. 올해 예상 매출은 지난해보다 50%이상 올라 1000억원대를 돌파할 전망이다.

김덕호 에이펫 대표는 세계 최대 반도체 장비회사인 미국 어플라이드 머티리얼에서 오랜 경력을 쌓아오다 2001년 장비 국산화에 도전하고자 에이펫을 창업했다. 그는 사업 초기부터 웨이퍼 건조기로 승부를 걸었다. 세정의 마무리 공정 단계에서 건조기를 통해 얼마만큼 파티클(먼지 입자)을 제거하느냐가 세정 장비의 성능을 좌우한다. 그는 독보적인 기술로 한 대당 2억~4억원가량인 웨이퍼 건조기를 현재까지 전세계 14개국 102개 반도체 업체에 1000여대를 공급했다. 이 회사는 건조 과정 중 발생하는 10나노미터(1억분의 1ｍ)크기의 파티클도 제거하는 세계 유일한 기술을 갖고 국내외 특허도 출원했다.

홍성호 에이펫 부사장은 "세계 유일한 파티클 제거 기술엔 물질간 표면장력의 차이(마랑고니 효과)를 응용한 기술을 비롯해 화학적 평형상태(르샤를리에의 법칙)와 압력유속간 상관관계(베르누이의 법칙) 등을 활용한 많은 물리·화학기술들이 집결됐다"고 소개했다.

때문에 최첨단 반도체 생산에 주로 쓰이는 웨이퍼 건조기 분야(마랑고니 타입)에선 세계 3대 제조기업으로도 꼽힌다. 2010년엔 건조기에 세정용 챔버 등을 합친 세정기 시장에 진출해 대당 20억~30억원에 달하는 세정 장비를 8개국 24개 업체에 200대 누적 판매했다. 최근엔 나노에서 수십 나노급 첨단 반도체 제조 공정에 쓰이는 싱글 웨이퍼 클리너도 공급하고 있다. 매출 비중은 세정기가 66%로 가장 많고 건조기 23%, 싱글웨이퍼클리너 11% 등이다. 기존 반도체보다 엄격하게 파티클을 관리해야하는 첨단 반도체기업일수록 이 회사 장비의 수요가 높은 편이다. 주요 공급처엔 국내 삼성전자, SK하이닉스를 비롯해 세계 최대 파운드리(반도체 위탁생산)업체인 TSMC와 미국 메모리반도체업체 마이크론, 일본 도시바·교세라, 독일 보쉬·인피니언·실트로닉 등 쟁쟁한 기업들이 많다. 김 대표는 반도체 장비 국산화와 수출에 기여한 공로를 인정받아 지난달 한국무역협회와 산업통상자원부, 한국경제신문사가 선정한 ‘제142회 한국을 빛낸 무역인상’을 받았다.
김덕호 에이펫 대표
김덕호 에이펫 대표
차별화된 기술력을 바탕으로한 수출 확대로 이 회사 매출은 지난 4년간 4배 가까이 늘었다. 2018년 162억원이었던 매출은 2020년 399억원, 지난해 641억원으로 매년 급증했고 올해엔 1000억원을 넘어설 전망이다. 삼성전자 TSMC 인텔 등의 신규 라인 증설과 자동차용 반도체 수요 증가로 앞으로 수요도 커질 전망이다.

현재 공사가 진행중인 경기 평택 삼성전자 반도체 공장과 경기 이천·충북 청주의 SK하이닉스 공장, 대만 TSMC공장에 이 회사의 세정기나 건조기가 공급될 예정이다. 내년 미국 텍사스주와 애리조나주에서 착공 예정인 삼성전자와 TSMC 반도체 공장에도 납품될 가능성이 높은 것으로 알려졌다. 김 대표는 "국내를 넘어 해외까지 최고의 반도체 장비업체로 거듭날 것"이라며 "코스닥 상장도 검토하고 있다"고 말했다.

안대규 기자 powerzanic@hankyung.com