반도체 장비업체인 실리콘테크(대표 우상엽)는 자체 개발한 반도체 웨이퍼 공정불량 검사장비 "웨이퍼뷰 210"이 반도체 생산라인에서 시험평가를 통과함에 따라 국내 반도체소자 생산업체에 납품하기 시작했다고 31일 밝혔다.

실리콘테크가 소프트웨어 개발업체인 ISOA테크(대표 한광수)와 전략적 제휴를 통해 개발한 이 장비는 지금까지 사람의 눈에 의존해오던 웨이퍼 검사를 자동화한 것.

이 장비는 실시간으로 웨이퍼의 결함을 찾아내 이를 유형별로 분류하고 공정을 재조정함으로써 생산공정에서 동일한 결함이 생기는 것을 막아준다.

우 사장은 "대당 가격이 6억~7억원에 이르는 이번 장비를 삼성 현대 아남 동부 등 반도체소자 생산업체에 이달부터 공급해 올 하반기에만 웨이퍼뷰 210의 매출이 1백억원에 이를 것"이라고 예상했다.

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장경영 기자 longrun@hankyung.com