현대전자, MFC교정장치 개발
MFC(Mass Flow Controller)교정장치를 개발했다.
7일 현대전자는 반도체제조시 거의 전공정에 이용되는 각종 유체의 흐름
을 조절,세기를 조절할 수 있으며 누수상태를 체크할 수 있는 MFC교정장
비를개발했다고 밝혔다.
현대전자는 이장비가 2개의 유체흐름을 동시에 제어할 수 있으며 연간
1억원정도의 수입대체효과를 거둘 수 있을 것이라고 설명했다.
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