일본 어드밴테스트사가 0.25미크론급의 초미세회로선폭까지 검색할수 있는
고집적반도체시험장비인 T6691VLSI테스터를 개발했다.

18일 어드밴테스트사는 이장비가 미세한 회로선폭까지 검색할뿐아니라
1기가Hz의 처리속도로 반도체의 품질을 검사,생산공정에 영향을 미치지
않으며 유닉스OS(운영체제)를 갖춰 다른 설비와 호환성이 높다고 밝혔다.

이장비는 1호기가 미국 반도체업체에 납품되며 한국에는 하반기부터
공급될수 있다고 어드밴테스트사는 설명했다.