반도체 및 태양전지 장비업체 ㈜테스(대표 주숭일)는 20일 한국산업기술진흥원이 주관하는 '사업화연계기술개발사업(R&BD)'에 선정, 30M 와트 급 태양전지용 대면적 고성능 반사방지막 PECVD 개발을 수행하게 됐다고 밝혔다.

테스는 R&BD과제 선정을 통해 결정질 태양전지 제조 장비 중 가장 부가가치가 높은 반사방지막을 형성시키는 PECVD 개발을 완료하고 사업화한 다는 계획이다. 테스는 이번 사업화연계기술개발 사업선정으로 2년간 총 10억5000만원의 사업비를 지원받는다.

테스는 이미 2008년도에 신재생에너지 기술개발사업인 '박막 태양전지용 PECVD' 개발과 중기청이 주관하는 '박막 태양전지용 스퍼터링 장비' 개발과제에 선정된 바 있어 이번 30M 와트급 태양전지 반사방지막 PECVD개발 국책과제 선정으로 벌크 및 박막 태양전지의 핵심 제조장비의 사업화에 한발 앞서게 됐다.

결정질(Bulk) 태양전지용 PECVD는 질화규소(SiNx)막을 형성, 태양빛의 반사손실을 줄이는 반사방지막기능과 태양전지 내부의 결함을 보호해 주는 기능을 제공해 태양전지의 전기변환 효율향상에 기여하는 핵심제조장비이다.


한경닷컴 정형석 기자 chs8790@hankyung.com