코스닥 등록기업인 주성엔지니어는 18일 반도체식각장비(Etcher)장비업체인 에이.티.엘의 지분 59.5%를 확보해 경영권을 인수했다고 밝혔다. 주성엔지니어 관계자는 "이번 인수를 통해 화학증착장비(CVD)부문에 이어 CVD보다 시장이 큰 식각장비부문에 본격적으로 나서게 됐다"며 "양사가 연구개발의 중복투자를 더 이상 하지 않고 연구개발비를 절감해 선택과 집중을 통한 시너지효과를위해 인수한 것"이라고 밝혔다. 이 관계자는 또 "연구개발 측면에서는 핵심기술인 플라즈마 관련 제조기술과 다양한 특허를 보유할 수 있게 됐다"며 "옥시드에치(Oxide Etch) 및 폴리에치(Poly Etch)분야의 핵심기술을 모두 확보함에 따라 향후 국내 식각장비 분야에서 독보적인시장지배력을 기대한다"고 덧붙였다. 한편 반도체장비 연구개발업체인 에이티엘은 반도체 전공정 장비 중에 하나인식각장비의 개발에 2년여동안 심혈을 기울여 왔으며 지난 11일 300mm웨이퍼용 식각장비를 국내소자업체에 납품하는 등 기술경쟁력을 인정받고 있다. [한국경제]