[이달의 산업기술상] 산업용 원자현미경 개발…0.1나노도 관찰

9월 장관상 - 박상일 파크시스템스 대표

박상일

파크시스템스 대표(사진)는 측정대상 시료의 3차원(3D) 표면 형상 및 다양한 특성을 알아낼 수 있는 산업용 원자현미경 핵심기술을 개발했다.

미국 스탠퍼드대 물리학 박사 출신인 박 대표가 1997년 설립한 파크시스템스는 세계 2위, 국내 유일의 원자현미경 제조 업체다. 원자현미경은 물체 사이 상호작용하는 힘을 기록하는 원리를 이용해 0.1㎚(1㎚는 10억분의 1ｍ) 크기의 원자까지 들여다볼 수 있는 현미경이다.

파크시스템스는 기존 기술로는 측정할 수 없었던 3D 형상을 측정하는 기술과 고성능 자동화 기술 등을 개발했다. 이를 통해 연구뿐 아니라 산업 등 다양한 분야에서 원자현미경의 활용이 가능해졌다. 기존 원자현미경에 비해 획기적으로 성능을 개선한 차세대 현미경 ‘NX10’ 등을 출시해 세계 유수 대학과 연구소, 글로벌 기업 등에 판매했다. 2015년 매출 200억원, 수출 171억원의 실적을 올렸다.

박 대표는 “제품의 기술적 우위 및 차별성을 인정받아 해외 시장 진출 및 반도체 시장 진출을 준비 중”이라며 “국내 시장에서 산업용 원자현미경 장비를 100% 국내 제품으로 대체할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

오형주 기자 ohj@hankyung.com