코닉시스템, 급속열처리장비(RTP) 33억 수주
이 장비는 반도체용 300㎜ 웨이퍼의 급속 열처리 장비로 자기부상 로테이션 모듈을 적용,기존 제품보다 웨이퍼 양산제품의 수율과 품질을 한층 높였다.D램 및 낸드플래시 생산에 모두 사용할 수 있다.
회사측은 기술적으로 앞서 있는 미국 어플라이드 머티리얼,맷슨 테크놀로지 등 해외업체와의 경쟁에서 수주하는데 성공했다고 설명했다.회사 관계자는 “이 장비는 반도체 뿐만 아니라 발광다이오드(LED),태양광 장비의 개발과도 밀접한 연관이 있어 주요 반도체,LCD,LED 제조업체를 대상으로 수주를 추진하고 있다”고 말했다.
김후진 기자 jin@hankyung.com
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