반도체 및 액정표시장치(LCD)의 표면결함을 원자단위까지 분석할 수 있는 연구용 원자현미경이 국내 기업에 의해 개발됐다. PSIA(대표 박상일)는 18일 "평면형의 2차원 압전구동기로 시료(샘플)를 움직이고 또 하나의 막대형 적층 압전구동기로 탐침을 이동시키는 새로운 형태의 연구용 원자현미경을 개발했다"고 밝혔다. 회사측은 "원통형으로 만들어진 3차원 압전구동기로 시료와 탐침을 움직여 영상을 얻는 미국 일본 제품과 달리 정확성과 재현성(원래 위치로 되돌아오는 기능)이 뛰어나고 스캔속도도 2배 이상 빨라진 제품"이라고 설명했다. PSIA는 이 기술에 대해 미국 특허청을 통해 국제 특허도 출원했다. 내주중 경상대를 시작으로 대학이나 대기업 연구소에 이 제품을 공급할 예정이며 중국 일본 미국 등지로의 수출도 추진중이라고 회사관계자는 말했다. 원자현미경은 탐침을 시료 표면 가까이 가져갔을 때 생기는 원자간의 상호작용력을 측정함으로써 시료표면의 형상을 알아내는 장치다. 전자현미경보다 수천배가량 성능이 향상된 현미경으로 반도체 웨이퍼,LCD,CD,DVD 등의 표면을 측정할 때 쓰인다. (031)734-2900 이성태 기자 steel@hankyung.com