반도체 제조 장비업체 한국디엔에스(대표 박창현)는 독자 개발한 3백mm 웨이퍼용 전공정설비인 웨트스테이션(모델명:K-WET300)의 첫 양산장비를 이달중 삼성전자에 공급한다고 20일 밝혔다. 웨트스테이션은 반도체 제조과정에서 발생하는 미립자와 웨이퍼 표면의 불순물 제거 및 감광액 등의 에칭에 사용되는 세정.건조 설비다. 이 제품은 기존 2백mm보다 세정력을 높이기 위해 원배쓰(One Bath)방식을 채택한 게 특징이다. 원배쓰방식이란 단일 세척조에서 세척,린스,건조 작업을 연속해서 처리하는 것을 말한다. 웨이퍼가 외부에 노출되지 않아 오염지수가 낮고 산화막 방지효과도 크다. 박창현 대표는 "국내외 소자업체들이 본격적인 3백mm 설비투자에 나서는 내년부터 이 장비를 연간 30대 이상 생산해 공급할 계획"이라며 "세정설비 부문에서만 7백억원 이상의 매출을 기대할 수 있게 됐다"고 말했다. (041)620-8100 이정호 기자 dolph@hankyung.com