국가표준과 초정밀 계측에 필요한 첨단 전자소자가 국내 연구진에 의해 개발됐다.

한국표준과학연구원 전자소자그룹(팀장 박세일)은 지난 98년부터 2년간 8억원의 연구비를 투입해 경북대 인제대와 공동으로 1V 및 10V 조셉슨 전압표준 어레이 소자,박막형 열전변환기,실리콘 압저항형 압력센서 등 첨단 전자소자를 개발했다고 27일 밝혔다.

이번 기술개발로 국가표준의 정밀.정확도가 선진국 수준으로 올라서게 됐고 국내 산업체에 초정밀 계측기술의 보급과 고품질.고신뢰도의 교정 서비스가 가능해져 국제경쟁력도 높아질 전망이다.

조셉슨 전압표준 어레이 소자는 두 초전도체 사이에 얇은 절연막이 형성되는 순간 마이크로파를 가해주면 마이크로파의 주파수에 비례해 양자화된 전압이 발생하는 조셉슨 원리를 이용했다.

수나노미터의 얇은 절연막으로 형성된 조셉슨 터널접합을 1천개 또는 1만개 이상 직렬연결해 산업체에서 쓰이는 1V 및 10V 표준으로 구현했다.

박막형 열전변환기는 교류를 직류로 변환 전력량을 정확하게 측정하는 기술로 가정에서 사용하는 적산전력계의 전력사용량을 측정,전기료 산출 등에 효과적으로 쓰여진다.

실리콘 압저항형 압력센서는 실리콘 웨이퍼에 보론으로 저항체를 만든 뒤 저항체에 압력을 가하면 저항값이 변하게 되는 압저항 현상을 이용해 센서를 개발했다.

센서는 대기압과 비교해 1기압까지의 압력범위를 측정할 수 있고 제작조건에 따라 0.2~1.0%의 오차를 갖고 있어 압력계 교정 등에 유용하게 사용된다.

박 팀장은 "미 표준기관인 NIST의 제품과 거의 유사한 수준의 제품으로 현재 미국이나 독일 등 일부 선진국에서만 관심을 갖고 있다"며 "국내 관련 벤처기업과 협력해 산업화되면 기술적 우위 확보는 물론 수입대체효과를 거둘 수 있을 것"이라고 말했다.

한경대덕밸리뉴스=김현태 기자 kht@ddvnews.com