어플라이드 머터리얼즈 코리아(대표 이영일)가 0.18미크론이하의 차세대
반도체소자를 가공하는데 적합한 화학증착기를 개발, 국내보급에 나섰다고
7일 밝혔다.

"프로듀서"라 이름 붙여진 이 신장비는 초정밀 소자에 절연막을 증착하는
장비로 기존제품보다 생산성을 50% 이상 높인 것이 가장 큰 특징.

이 장비는 웨이퍼를 한매 한매씩 처리하는 매엽식 공정기술을 채택하면서도
한번에 2매의 웨이퍼처리가 가능하도록 설계, 생산효율을 높였다.

또 한 시스템에 최대 3개의 이중 증착반응실 장착, 동시에 6매의 웨이퍼를
가공함으로써 시간당 1백매까지 처리할 수 있다.

프로듀서는 현재 국내반도체소자업체가 가장 많이 사용중인 2백mm웨이퍼
뿐만아니라 3백mm 웨이퍼가공 겸용으로 만들어 졌다.

기존장비와 달리 주요구조부는 그대로 두고 증착반응실만 바꿔주면 3백mm
웨이퍼도 가공할 수 있다.

이 장비는 이와함께 가스판넬, 진공펌프, 배기관 등을 공유하도록 설계를
단순화, 유지보수하기도 쉽다는 것이 회사측의 설명이다.

이 회사 기술연구소의 김무성박사는 "프로듀서는 생산효율이 뛰어나고 장비
운영경비가 적게드는 장비일뿐만 아니라 미국에서 개발된 원격세정기술을
사용, 지구온난물질인 프레온가스를 발생시키지 않은 환경친화적제품"이라고
소개했다.

< 노웅 기자 woongroh@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 8월 8일자 ).