반도체와 LCD 장비업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)은 미국의 디스플레이장비업체 AKT와 AKT의 국내 LCD 장비 조립회사인 A1엔지니어링을 상대로 특허권 침해 금지 소송을 서울중앙지방법원에 제소했다고 5일 밝혔다. AKT는 미국 어플라이드 머티어리얼스의 자회사다.

주성엔지니어링이 AKT가 침해하고 있다고 주장하는 특허기술은 초박막액정표시장치(TFT-LCD)의 반도체막과 절연막을 만드는 플라즈마화학증착장비(PECVD)가 고온으로 인해 모양이 변하는 현상을 막기 위해 추가 구조물을 설치하는 기술이다.

회사 관계자는 "LCD 기판이 대형화되면서 PECVD도 규모가 커지고 있다"며 "이로 인해 가스를 발생시켰을 때 내부 온도가 300~400도까지 올라가게 된다"고 설명했다.

이 때 아무런 장치를 하지 않을 경우 가스를 뿜어내는 부분(샤워 헤드)의 구멍이 넓어져 제품의 품질이 손상된다는 것. 회사 측은 이 기술이 한 변이 2m가 넘는 대면적 LCD용 PECVD 장치 뿐만 아니라 대형 태양전지 등에도 사용할 수 있는 기술이라고 설명했다.

회사 관계자는 "연간 200억원 이상의 연구개발비를 투입해 첨단 장비를 개발하고 특허를 출원해 배타적 경쟁력을 확보하기 위해 노력하고 있다"고 밝혔다.

이상은 기자 selee@hankyung.com