주성, 美AKT 특허 침해 소송
주성엔지니어링이 AKT가 침해하고 있다고 주장하는 특허기술은 초박막액정표시장치(TFT-LCD)의 반도체막과 절연막을 만드는 플라즈마화학증착장비(PECVD)가 고온으로 인해 모양이 변하는 현상을 막기 위해 추가 구조물을 설치하는 기술이다.
회사 관계자는 "LCD 기판이 대형화되면서 PECVD도 규모가 커지고 있다"며 "이로 인해 가스를 발생시켰을 때 내부 온도가 300~400도까지 올라가게 된다"고 설명했다.
이 때 아무런 장치를 하지 않을 경우 가스를 뿜어내는 부분(샤워 헤드)의 구멍이 넓어져 제품의 품질이 손상된다는 것. 회사 측은 이 기술이 한 변이 2m가 넘는 대면적 LCD용 PECVD 장치 뿐만 아니라 대형 태양전지 등에도 사용할 수 있는 기술이라고 설명했다.
회사 관계자는 "연간 200억원 이상의 연구개발비를 투입해 첨단 장비를 개발하고 특허를 출원해 배타적 경쟁력을 확보하기 위해 노력하고 있다"고 밝혔다.
이상은 기자 selee@hankyung.com
-
기사 스크랩
-
공유
-
프린트