[ 한국디엔에스 ''종합도포현상장치'' ]

한국디엔에스는 종합도포현상장치를 개발, 철탑산업훈장을 받았다.

이 장치는 64메가 및 2백56메가 D램의 반도체 디바이스 생산공정 중 핵심인
포토리소그러피(사진평판) 공정에 적용되는 종합도포.현상설비다.

노광기와 인라인화해 초집적반도체제품을 만들어내는 장치다.

반도체 사진평판공정에서 서로 연관된 스핀유닛과 베이크유닛을 모듈화해
설비의 설치면적을 줄였고 유닛구성폭을 넓혔다.

64메가 이상의 반도체 DUV 사진평판용 콤팩트스피너설비로서 선진국의
설비보다 성능이 뛰어난 국내최초의 설비다.

로봇의 자동지도기능, PEB전용 스윙 암, 양방향 접근이 가능한 버퍼 스토커
등 신기술을 개발, 설비의 경쟁력을 높였다.

연간 수입대체효과가 2백억원 이상이 될 것으로 기대되고 있다.

지난해 12월 48억원어치를 수출하기도 했다.

종전에 1백% 수입에 의존하던 반도체 제조장비(DUV용 종합도포현상장치)를
국내최초로 개발함으로써 국내 반도체 산업전체의 국제경쟁력을 높인 것으로
평가되고 있다.

이같은 설비는 종전에는 일본 등의 1~2개 업체만이 생산했었다.

( 한 국 경 제 신 문 1999년 10월 16일자 ).