반도체 생산수율을 크게 높일 수 있는 검사장비가 국내에서 개발됐다.

호서대 반도체 제조장비 국산화 연구센터(소장 황희륭)는 반도체 검사에
쓰이는 핵심장비인 테스트 핸들러의 온도제어 시스템을 미래산업과 공동으로
국산화했다고 18일 밝혔다.

테스트 핸들러는 일정한 온도에서 반도체 품질을 측정하거나 측정된 결과에
따라 제품을 등급별로 분류하는 장비.

온도제어 시스템은 섭씨 영하50도에서 영상1백20도까지 반도체의 내구성을
검사할 수 있도록 테스트 핸들러안의 온도를 조절하는 기능을 한다.

보통 하나의 테스트 핸들러에서는 30-40개의 반도체를 한꺼번에
검사하는데 그 정확도를 높이기 위해서는 핸들러안의 각 검사점간의 온도
편차를 최소한으로 줄이는 게 핵심이다.

정보통신공학부 이호준 교수는 "이번에 개발한 이 온도제어 시스템은
온도편차를 0.35도로 낮춰 정확성을 크게 높였다"고 설명했다.

이 교수는 "기존 시스템은 각 검사점간의 온도편차가 1.5도로 매우
컸다"고 덧붙였다.

이 교수는 "이 시스템 개발로 반도체 장비의 국산화는 물론 수출경쟁력
확보에도 크게 기여할 수 있게 됐다"고 말했다.

< 정종태 기자 jtchung@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 9월 19일자 ).