반도체 장비업체 ASML '기대 이상' 3분기 실적..."중국 수출 규제 영향 제한적"

황정수 기자

입력2022.10.19 16:34 수정2022.10.19 16:39

수주잔액 12조5000억원
역대 최대 규모 기록

4분기도 '긍정적'
"극자외선 노광장비 수요 커진다"

2020년 10월 이재용 삼성전자 부회장이 ASML 본사를 방문해 EUV 노광장비를 살펴보고 있는 모습. 연합뉴스

EUV(극자외선) 노광 장비로 널리 알려진 반도체 장비 업체 ASML이 시장 기대치를 웃도는 3분기 실적을 내놨다.

ASML은 올해 3분기 매출 57억7800만유로(약 8조1000억원), 순이익 17억유로(약 2조4000억원)를 기록했다고 19일 발표했다. 전년 동기 대비 매출은 10.2% 늘었다. 순이익은 시장 기대치를 뜻하는 컨센서스(증권사 추정치 평균) 14억2000만유로를 크게 웃돌았다.

주력 제품인 EUV 노광 장비 주문이 꾸준하게 들어온 영향으로 분석된다. ASML의 3분기 예약매출(수주 잔액)은 역대 최대치인 89억유로(약 12조5000억원)를 기록했다. 이 중 EUV 노광 장비 매출은 38억유로(약 5조3000억원)이다.

시장의 우려와 달리 4분기 매출에 대해서도 '긍정론'이 나왔다. ASML이 제시한 4분기 매출 가이던스(회사의 공식 전망치)는 61억~66억유로다.

피터 베닝크 ASML 대표(CEO)는 "인플레이션과 경기 침체 등으로 시장 불확실성이 커진 상황"이라며 "하지만 ASML 장비에 대한 수요는 여전히 크다"고 말했다.

미국의 중국 수출 규제의 영향에 대해선 "내년 장비 출하 계획에 미치는 영향은 제한적"이라고 설명했다.

베닝크 CEO는 다음달 중순 방한, ASML의 경기 화성 반도체 클러스터 기공식에 참석한다. 주요 고객사인 삼성전자 경영진과 면담 가능성도 큰 것으로 알려졌다.

황정수 기자 hjs@hankyung.com

관련 뉴스

1

'식각의 제왕' 램리서치…삼성전자도 혀 내두른 기술력

반도체 업계에서 램리서치는 '식각의 제왕'으로 불린다. 반도체 주요 공정 중 식각, 증착, 세정 장비 시장에 진출한 램리서치는 특히 식각에서 압도적인 기술력을 보유하고 있다. 식각은 웨이퍼에 액체나 기체 부식액을 이용해 불필요한 부분을 제거하는 공정으로, 램리서치의 글로벌 점유율은 50%에 달한다. 삼성전자, TSMC 등을 고객사로 보유한 램리서치는 파운드리(반도체 위탁생산) 전쟁에서 핵심 역할을 하고 있다.팀 아처 램리서치 최고경영자(CEO)는 한국경제신문과의 인터뷰에서 '식각 초격차'에 대한 자신감을 숨기지 않았다. 그는 "우리는 식각 및 반도체 소자 패터닝과 관련한 어려운 과제를 해결할 수 있도록 업계에서 가장 앞선 솔루션을 갖고 있다"고 말했다.램리서치의 '식각 초격차'는 TSMC를 따라잡기 위한 삼성전자 파운드리 전략에서도 필수 요소다. 램리서치가 삼성전자의 차세대 트랜지스터 구조인 '게이트올어라운드(GAA)' 신공정에 활용할 식각 장비 신제품을 개발하면서다.삼성전자는 비메모리에서도 세계 1위가 되겠다는 계획으로 '반도체 비전 2030'을 발표했다. 하지만 TSMC의 점유율이 워낙 압도적이고 수율도 안정적인 탓에 파운드리 점유율 격차가 좁혀지지 않는 상황이 5년 넘게 이어지고 있다. 이에 삼성전자는 그간 파운드리에서 한 번도 도입된 적 없는 GAA 신공정을 채택해 세계 최초로 3나노 양산에 성공했다.반도체 회로 선폭을 의미하는 3나노는 반도체 공정 중 가장 앞선 기술이다. GAA 신공정은 미세화에 따른 트랜지스터 성능 저하를 줄이고 데이터 처리 속도와 전력 효율을 높여 기존 핀펫(FinFET) 기술보다 진보된 차세대 반도체 핵심 기술로 꼽힌다.램리서치는 올 1분기 GAA 신공정에서 활용할 수 있는 반도체 식각 장비 플랫폼인 아고스(Agos), 프리보스(Prevos), 셀리스(Selis)를 발표했다. 해당 플랫폼을 사용하면 회로를 그릴 때 불필요한 부분을 매우 정밀하게 제어하는 것이 가능하다. 램리서치는 0.1나노미터(㎚)인 '옹스트롬' 수준의 정밀 식각이 가능하다고 소개했다.팀 아처 CEO는 '식각 초격차'를 유지하기 위한 필수 조건으로 '과학'과 '수학' 능력을 갖춘 인재 수급을 거론했다. 그는 "반도체 인력 수요가 증가하면서 과학, 기술, 엔지니어링 및 수학(STEM, science, technology, engineering and math) 인재에 대한 필요성이 그 어느 때보다 높아졌다"고 했다.반도체 장비 생태계가 취약한 한국과의 접점 확대도 그의 관심사다. 지난달 22일(현지시간) 윤석열 대통령이 뉴욕에서 열린 북미지역 투자신고식 및 라운드테이블에 참석한 가운데 팀 아처 CEO도 직접 참석해 한국 투자에 대한 의견을 나눴다.램리서치는 지난 4월 경기도 용인 지곡산업단지에서 반도체 최첨단 연구개발(R&D) 시설인 '램리서치 코리아테크놀로지센터(KTC)'를 개관했다. KTC는 램리서치의 글로벌 R&D 네트워크의 주요 거점으로 활용된다. 센터에는 최첨단 클린룸이 들어서며 박사급 과학자와 엔지니어 등 100여명이 근무한다.램리서치는 KTC를 미국 R&D 시설보다 더 진보한 차세대 기술 개발의 전진 기지로 키운다는 방침이다. 팀 아처 CEO는 "KTC는 고객사와의 근접성을 통해 긴밀한 협업이 가능해질 것"이라며 "세계에서 가장 진보된 반도체 장비와 공정을 위해 포괄적인 접근 방식을 제공하겠다"고 말했다.프리몬트=강경주 기자 qurasoha@hankyung.com
2

'지한파' 게리 디커슨 어플라이드 CEO "한국 시장 매우 중요"

미국 샌프란시스코 공항에서 차량을 이용해 남동쪽으로 40여분(50km)을 달리면 실리콘밸리의 소도시 서니베일과 샌타클라라가 나온다. 이곳에는 미국이 자랑하는 세계 반도체 장비 1위 기업 어플라이드 머티어리얼즈(이하 '어플라이드')의 본사와 연구개발(R&D) 단지가 자리잡고 있다.어플라이드의 심장이라고 불리는 메이단 R&D 센터는 글로벌 반도체 기업들이 사용하는 거의 모든 장비가 탄생한 곳이다. 어플라이드는 1967년 설립돼 50년이 넘는 역사를 가졌다. 원자 단위 재료공학 분야에서 독보적인 경쟁력을 갖추면서 매출 규모는 28조원에 이른다. 증착, 식각, 급속 열처리, 이온 주입, 측정, 검사, 패키징 등 반도체 제조의 모든 단계에 능통해 '장비 업계의 올라운드플레이어'라는 수식어를 가졌다.디스플레이와 태양광 장비 분야에서도 세계 최고 수준인 어플라이드는 '통합 소재 솔루션'이라는 독자적인 서비스를 바탕으로 장비 업계에서 수십 년간 지배자 위치를 수성했다. 현재 전 세계 19개국에 115개의 사무소를 뒀고 2만7000여명의 직원을 거느리고 있다.메이단 센터에서 한국경제신문과 만난 게리 디커슨 어플라이드 최고경영자(CEO)는 반도체 업계에서도 대표적인 지한파로 꼽힌다. 1980년대부터 한국을 수차례 방문한 그는 이미 수십년 전부터 'K-반도체'의 성공을 예견했다.게리 CEO는 "1980년대에 한국은 반도체를 성장시키기 위해 굉장히 많은 노력을 했다"며 "한국의 훌륭한 인재들이 없었다면 지금의 'K-반도체'는 불가능했을 것"이라고 단언했다. 이어 "처음 한국을 방문했을 때부터 엄청난 잠재력과 능력을 이미 봤다"며 "과학 기술 분야의 인재가 넘치고 실행력과 열정을 통해 한국은 실제로 반도체 분야에서 전세계적인 리더가 됐다"고 평가했다.어플라이드는 지난 7월 우리 정부와 경기도에 R&D센터를 짓기로 합의하고 한국에 투자를 강화하고 있다. 투자 배경에 대해 묻자 "한국은 우리에게 매우 중요한 시장이기 때문에 물리적으로 가까이 가는 건 성공을 위한 필수 요소"라며 "경기도에 지을 최고 수준의 R&D 센터는 협업을 넘어 직접 인재 양성까지 가능할 것으로 기대하고 있다"고 강조했다. 특히 지난 5월 조 바이든 미국 대통령의 방한이 한국 투자 결단에 결정적인 영향을 끼친 것으로 알려졌다. 실제 게리 CEO는 지난 5월21일 서울에서 열린 '한미 비즈니스 라운드 테이블'에서 이재용 삼성전자 부회장, 최태원 SK그룹 회장을 마주하며 협력을 다짐했다.미국을 대표해 바이든 대통령과 함께 한국을 방문한 소감을 묻자 그는 '변곡점(an inflection point)'이라는 표현을 사용했다. 게리 CEO는 "반도체가 우리 삶에서 얼마나 중요한지 깨달은 변곡점이 됐다"며 "인공지능(AI), 빅데이터, 전기차 등 반도체는 이미 모든 산업을 변화시키고 있고 경제 성장, 취업률, 인구 고령화에 직면한 국가들에도 반도체는 더 큰 영향을 미칠 것"이라고 내다봤다.어플라이드가 차세대 기술로 가장 공을 들이고 있는 분야가 무엇인지 묻자 "반도체 업계간 이종 결합을 가속화 하는 것"이라는 답변이 돌아왔다. 반도체 패키징이 갈수록 중요해지고 있다는 뜻이다.패키징은 제조된 반도체가 훼손되지 않도록 포장하고 회로에 있는 전기선을 외부로 연결하는 공정이다. 반도체 전체 공정 중 후공정에 속한다. 그동안 대다수의 반도체 완제품 기업들은 성능 향상을 위해 전공정에서 회로 선폭을 좁히는 미세공정 기술 개발에 주력했다. 하지만 10나노 이하 초미세공정으로 경쟁이 격화되면서 단순 미세화만으로는 성능과 전력 효율을 높이기 어렵다는 걸 알게 됐다. 이때 대안으로 꼽힌 기술이 바로 패키징이다. 패키징 기술이 발전할수록 칩 사이즈 축소와 절전, 시스템 효율성 향상을 꾀할 수 있어서다.게리 CEO의 말처럼 최근 반도체 기술경쟁이 초미세공정에서 첨단 패키징으로 확대되는 양상이다. 갈수록 정밀해지는 기술에 폭증하는 데이터를 소화할 수 있는 성능이 요구되면서 반도체 업체들은 '3D 적층기술', '이종 집적화' 등 패키징 개발에 전력을 쏟고 있다.어플라이드의 이종 결합 기술은 다양한 기능과 크기의 반도체를 하나의 패키지로 제작해 고객사에 새로운 유형의 설계와 생산 유연성을 제공하는 것을 목표로 한다. 어플라이드는 첨단 패키징 분야 최대 공급업체로서 식각, 증착, 전기도금, 표면처리, 가열냉각 영역을 망라하는 최적의 제품을 공급한다. 게리 CEO는 "패키징에서 기술력과 포트폴리오를 먼저 시장에 제공하는 게 중요하다"며 "최근 우리가 하는 일은 '마법(Magic)'과도 같다"며 자신감을 보였다.서니베일·샌타클라라=강경주 기자 qurasoha@hankyung.com
3

삼성전자, '비스포크 슈드레서 X 케이스스터디' 한정판 선보여

삼성전자가 스니커즈 콘셉트 스토어 '케이스스터디(Casestudy)'와 협업해 '비스포크 슈드레서 X 케이스스터디' 스페셜 에디션을 한정판으로 21일 출시한다.이번에 출시하는 비스포크 슈드레서 케이스스터디 에디션은 신발관리기 본연의 역할뿐 아니라 개성 있는 공간을 만들어 주는 인테리어 가전, 취향 가전의 성격을 강조하기 위해 기획됐다.이번 협업은 '뉴트로' 트렌드가 부상하며 MZ 소비자들이 '자개' 디자인에 주목하는 것에 착안했다. 한국적인 전통 자개공예에서 영감을 받아 현대적으로 재해석한 디자인을 적용하여 보는 각도에 따라 다양한 색감을 만들어 내는 자개장과 같은 모습의 비스포크 슈드레서로 재탄생했다.비스포크 슈드레서 케이스스터디 에디션은 케이스스터디 청담점에서 전시ㆍ판매 예정이며, 가격은 149만원이다.소비자들에게 위생적인 신발 관리의 중요성을 인식시키고 가전 업계에 새로운 트렌드로 자리잡은 비스포크 슈드레서는 ▲냄새 입자를 말끔히 털어내는 ‘에어워시’ ▲냄새 입자를 효과적으로 분해하는 ‘UV 냄새분해필터’ ▲40℃ 이하로 건조해 주는 ‘저온 섬세 건조’ ▲각종 바이러스와 유해세균을 효과적으로 살균해 주는 ‘제논(Xenon) UVC 램프’ 등을 탑재해 탈취ㆍ건조ㆍ살균 과정을 통해 신발을 쾌적하고 위생적으로 관리해 준다.삼성전자는 그 동안 영화관ㆍ호텔ㆍ골프장 등 다양한 일상 접점에 비스포크 슈드레서 체험존을 마련해 왔으며, 이번 협업을 통해 스니커즈를 사랑하는 MZ 소비자들에게 체험 기회를 확대한다는 계획이다.황태환 삼성전자 한국총괄 부사장은 “스니커즈에 관심이 높은 소비자들이 일상에서 비스포크 슈드레서를 통해 신발을 관리하고 즐길 수 있는 기회를 마련하고자 케이스스터디와 협업하게 됐다”며 “앞으로도 소비자들이 비스포크 슈드레서를 즐겁게 체험할 수 있도록 다앙한 업체들과 협업을 추진할 것”이라고 말했다.