유럽 출장을 마친 이재용 삼성전자 부회장이 14일 오전 서울 강서구 김포비즈니스항공센터를 통해 귀국하고 있다. /사진=연합뉴스

유럽 출장길에 올랐던 이재용 삼성전자 부회장이 6박7일 간의 일정을 마치고 14일 오전 김포공항을 통해 귀국했다. 이재용 부회장은 이번 출장에서 네덜란드 극자외선(EUV) 장비 제조업체 ASML 회장 등과 만나 장비 공급 확대를 논의했다.

이날 오전 10시께 김포공항국제비즈니스센터(SGBAC)를 통해 귀국한 이재용 부회장은 취재진과 만난 자리에서 "(EUV 장비 추가 공급 확대) 협력 방안을 논의하고 왔다"고 말했다. 긍정적으로 진행됐나라고 묻는 질문엔 김기남 삼성전자 디바이스솔루션(DS) 부문 부회장을 가리켜 "우리 김 부회장께 여쭤봐주시라"고 했다.

네덜란드 기업인 ASML은 반도체 미세 공정에 반드시 필요한 극자외선(EUV) 장비를 독점 공급하고 있는 업체다. 대당 2000억원에 달하는 장비다. 삼성전자는 글로벌 파운드리(반도체 위탁생산) 1위 대만 TSMC와 해당 장비를 우선 공급받기 위해 경쟁하고 있다. 이 부회장은 장비의 원활한 공급을 논의하기 위해 ASML 본사를 찾았다.

삼성전자에 따르면 이 부회장은 13일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 있는 ASML 본사를 찾아 피터 버닝크 CEO, 마틴 반 덴 브링크 CTO 등을 만나 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력 강화 방안을 논의했다.

이 부회장과 버닝크 CEO는 △7나노 이하 최첨단 반도체 생산에 필수적인 EUV 장비 공급계획 및 운영 기술 고도화 방안 △AI 등 미래 반도체를 위한 차세대 제조기술 개발협력 △코로나19 사태 장기화에 따른 시장 전망 및 포스트 코로나19 대응을 위한 미래 반도체 기술 전략 등에 대한 의견을 나눴다.

이재용(오른쪽에서 두번째) 삼성전자 부회장이 13일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 찾아 EUV 장비를 살펴보는 모습. /삼성전자 제공

이 부회장은 이날 ASML의 반도체 제조장비 생산공장도 방문해 EUV 장비 생산 현황을 직접 살폈다. 이 부회장은 2016년 11월 삼성전자를 방문한 버닝크 CEO 등 ASML 경영진을 만나 차세대 반도체 미세 공정 기술에 관한 협력 방안을 논의한 바 있으며, 2019년 2월에는 프랑스 파리에서 만나 반도체 산업에 대한 의견을 나누기도 했다. 이번 미팅에는 김기남 삼성전자 DS부문장 부회장이 배석했다.

이 부회장은 네덜란드 외에 스위스에 다녀온 사실도 밝혔다. 이 부회장은 다음 출장지를 어디로 고민하고 있나란 질문에 대해 "이번에 IOC(국제올림픽위원회)를 만나고 돌아왔다. 다음 출장은 아직 안 정해진 것 같다"고 답했다. IOC는 스위스 로잔에 있다. 삼성전자는 올림픽 공식 후원사다.

노정동 한경닷컴 기자 dong2@hankyung.com