테스, 반도체 제조용 챔버 특허 취득

입력2010.12.08 13:51 수정2010.12.08 13:51

테스는 반도체 제조용 챔버에 관한 특허를 취득했다고 8일 공시했다.

한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com

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