반도체장비 및 재료업체인 에프에스티는 삼성전자와 18억7천만원 규모의 반도체공정용 온도조절장치 '칠러(chiller)' 공급계약을 맺었다고 23일 밝혔다. 이번에 공급하는 칠러는 300mm웨이퍼 팹(Fab)에 적용되는 것으로 200mm 공정용에 비해 냉각, 유량, 온도제어 능력이 뛰어나다. 회사측은 "이번 수주가 작년 총매출액의 15% 정도에 해당한다"면서 "올해는 영업활동을 강화, 매출목표 260억원을 꼭 달성하겠다"고 말했다. 에프에스티는 국내 최초로 칠러 CE인증과 Semi-S2를 보유하고 있으며 반도체 제조공정에 사용되는 포토마스크보호용 막인 펠리클 부문에서는 한국 시장의 약 80%를점유하고 있다. (서울=연합뉴스) 유경수기자 yks@yonhapnews.co.kr