유니셈, 밀폐형 폐가스 처리장치 미국특허 취득

반도체장비 생산업체 유니셈이 16일 밀폐형 폐가스 처리 장치로 미국특허를 취득했다고 밝혔다.

유니셈은 이 밀폐형 폐가스 처리장치가 기존의 물처리 방식의 단점을 보완, 물 대신 공기를 이용해 폐가스를 처리 가능하도록 설계해 2차로 생산되는 부산물도 포집할 수 있다고 설명했다.

유니셈은 지난 99년 이 시스템에 대해 국내특허를 취득했고 지난해에는 대만특허를 받았다.

한편 유니셈은 지난해 전년대비 90% 가까이 늘어난 218억원의 매출과 30억원정도의 순이익이 예상되며 올해는 450억원의 매출을 목표로 하고 있다고 밝혔다.

이 회사 관계자는 "올해 유해가스 정화장비 스크러버 제품 매출 외에도 항원제어장치인 칠러의 양산체제 돌입 등에 따라 매출 목표를 크게 늘렸다"고 설명했다.

한경닷컴 김은실기자 kes@hankyung.com