화합물반도체를 고속으로 자동검사하는 장비가 개발됐다.

8일 광전자반도체(대표 조장연)는 3년간 6억원을 들여 갈륨비소 반도체를
개당 0.04초(이송시간 포함)에 검사하는 장비를 개발, 영업에 들어갔다고
밝혔다.

한국과학기술원(KAIST)과 공동개발한 이 장비는 육안을 이용하는 지금의
검사방법보다 빠를 뿐 아니라 1미크론m(1백만분의 1m)이내의 미세한 흠집
까지 잡아낸다.

또 문제가 있을때 나타나는 색상변화도 5% 이내까지 판별 할 수 있다.

숙련된 전문인력이 육안으로 살피는 것보다 정확도가 높다는게 회사측의
설명이다.

화합물반도체를 생산하는 이 회사의 조장연 사장은 "검사인력 대체를
위해 구매를 추진해오다 마음에 드는 장비를 구하지 못해 직접 개발하게
됐다"고 말했다.

조 사장은 "연말까지 6대의 검사장비를 설치, 모든 생산라인에 적용할
계획"이라며 "지난달부터는 국내 영업에도 나섰다"고 말했다.

반도체검사의 경우 전담인력이 육안으로 살피는게 대부분으로 메모리
반도체의 경우 칩으로 만들기 전인 웨이퍼 상태에서 자동검사하는 장비가
부분적으로 쓰여왔다.

그러나 화합물반도체는 가공과정에서 손상되기 쉽기때문에 웨이퍼 상태의
자동검사로는 불량률을 줄이는데 한계가 있다.

조 사장은 "이번 장비 개발로 메모리 반도체 검사장비도 개발할수 있게
됐다"며 "수출도 추진하는등 검사장비 사업을 강화해 나갈 방침"이라고
말했다.

< 오광진 기자 kjoh@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 6월 9일자 ).