동경엘렉트론코리아(대표 곽태균)가 64메가 D램 반도체 생산라인용
반도체 웨이퍼의 감광장비를 개발, 시판에 나섰다.

이회사는 앞으로 국내 반도체 소자 생산업체에 도입되는 64메가 D램
생산시대에 부응한 감광장비(모델명:클린 트랙 액트-8)를 출시했다고 22일
밝혔다.

이제품은 웨이퍼 표면에 회로도를 그리는 사진제판 공정에서 사용하는
장비로 웨이퍼를 고속 회전시켜 감광성수지인 레지스트를 도포해 현상하고
다시 약품을 처리 건조하는 기능을 한다.

이번에 개발한 모델은 사진 감광 약품을 분사시킬때 웨이퍼를 회전시켜
주는 스피너 장치를 기존 장비와 달리 2개층으로 설계해 처리 용량을 두배
이상 늘리고 장비 면적을 최소화한게 특징이다.

이에따라 종래 기종보다 클린룸에서 차지하는 공간이 30%가량 줄어든
반면 웨이퍼 처리속도는 시간당 1백20매로 기존 기종의 두배로 빨라졌다.

또한 감광 약품의 도포방식을 개선해 약품 소비량을 기존의 3분의 1로
줄였고 현상공정에서 발생하는 잔존 가스를 제거해 불량 극소화를 실현
했다.

동경엘렉트론은 이제품의 홍보를 통해 내년부터 국내 반도체 소자업체들의
64메가 D램 생산라인에 공급할 예정이며 사업 1차년도 공급물량은 1백50대로
잡고있다.

시판가격은 사양에 따라 다르지만 평균 1대당 16억원선으로 잡고있다.

동경엘레트론코리아는 세계적인 반도체 장비업체인 도쿄엘렉트론의 한국
법인으로 국내 시장에서 사진감광장비와 증착기, LCD생산 장비를 공급하고
있으며 반도체 테스트 공정장비공장 설립을 추진중이다.

한편 일본의 도쿄엘렉트론은 전세계 사진감광제 도포 현상장비시장의
60%을 차지하고있는 다국적 장비업체로 올해 매출규모는 4천억엔이다.

< 고지희기자 >

(한국경제신문 1996년 11월 23일자).