대덕밸리 반도체 공정장비 전문업체인 지니텍(www.genitech.co.kr, 대표 박인규)은 네덜란드의 세계적인 반도체 장비기업인 ASM과 지난해 기술 수출 및 장비 공급 계약을 체결한 이후 처음 이 회사에 300mm 플라즈마원자층 증착장비(PEALD) 1대를 선적했다고 27일 밝혔다. PEALD는 지니텍이 국가지정연구실인 한국과학기술원(KAIST) 반도체 재료연구실(강상원 교수)과 공동으로 개발한 첨단장비로, ASM과의 계약에 따라 상용화 모듈을 만드는 데 사용된다. 지니텍은 대당 수십만달러에 달하는 이 장비를 ASM에 올해 말까지 4대, 내년 말까지 10대 이상 각각 공급할 예정이며 본격적인 양산체제에 접어드는 2005년부터는 연간 100대 가량을 공급한다는 계획이다. 박 대표는 "원천기술을 개발해 공정장비를 외국에 수출하고 기술료까지 받아낸 것은 국내 반도체 공정장비 개발 역사상 처음"이라며 "이 장비가 양산체제에 접어들면 막대한 외화를 벌어들일 수 있을 것"이라고 말했다. 한편 ASM은 네덜란드에 본사를 두고 있는 다국적 반도체 공정장비 기업으로 지난해 10억달러의 매출을 올렸다. 지니텍은 지난해 11월 ASM과 수백만 달러 상당의 기술이전 로열티를 받고 PEALD및 구리 바닥채움 화학증착기술에 대한 기술 수출과 장비 공급에 관한 포괄적인 협력 계약을 체결했다. (대전=연합뉴스) 이은파기자 silver@yna.co.kr