동진쎄미켐, 현대전자에 감광제 공급

동진쎄미켐은 1기가D램부터 32기가D램까지의 반도체 칩에 적용 가능한 아르곤 플로라이드 감광제(ArF Resist)를 현대전자에 공급하기 시작했다고 24일 발표했다.

이 제품은 회로선폭이 70nm(1nm는 10억분의 1m)를 구현 가능한 것으로 현대전자는 향후 생산 예정인 차세대 반도체에 이를 적용할 계획인 것으로 알려졌다.

동진쎄미켐은 아르곤 플로라이드 감광제 첫 납품을 계기로 발안에 건설중인 제2단지 신규 공장을 오는 7월까지 완공시켜 공급 물량을 대폭 확대키로 했다.

회사측은 "이번 납품은 이미 체결된 장기공급 계약에 따라 이뤄진 것"이라며 "반도체 칩 제조 공정에서 빛의 간섭효과를 차단시켜 감광제 공정 능력을 높여주는 물질도 함께 공급키로 했다"고 밝혔다.

박기호 기자 khpark@ked.co.kr