일본의 주요반도체메이커들이 차세대VLSI(초대규모집적회로) 메모리인
64메가D램 개발에 성공했다.
일본의 도시바 후지쓰 미쓰비시전기 마쓰시타전기등 4개 반도체업체들은
11일 차세대 반도체메모리인 64메가D램을 개발, 내달 미 샌프란시스코에서
열리는 국제고체회로회의(ISSCC)에서 성과를 발표할 것이라고 밝혔다.
64메가D램은 올해중으로 시제품 출하가 예상되는 16메가D램에 이은
차세대 반도체메모리로 지난해 6월 히타치제작소가 전자빔광학기술을
이용해 세계최초로 개발했다.
도시바등 후발4개사가 이번에 개발한 64메가D램은 자외선i선 및
엑시머광선을 이용한 것이며 이의 개발로 칩의 대량생산이 가능케 될
전망이다.
이들 4개업체들은 반도체 올림픽으로 불리는 ISSCC에서 64메가D램을
공개함으로써 히타치에 앞서 상품화를 실현할 계획이다.
한편 미국의 IBM AT&T(미전신전화) 벨연수소, 독일의 지멘스, 한국의
삼성전자등 거대반도체메이커들은 아직 64메가D램 개발에 큰 진전을
보지 못하고 있다.