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반도체용 특수가스 생산 전문기업 코아텍㈜(대표 문영환 www.coretech21c.co.kr)이 신규사업의 일환으로 모노실란(SiH4) 시장에 진출한다. 문영환 코아텍㈜ 대표는 "모노실란과 폴리실리콘 제조를 위한 원천기술을 확보했다"며 "현재 모노실란과 폴리실리콘의 시험생산을 마치고 상용화 단계로 넘어간 상태"라고 밝혔다.

이 회사는 올 3월 중순 모노실란을 먼저 선보일 계획이다. 회사 측은 모노실란이 출시되면 매출을 견인할 새로운 성장 축이 될 것으로 확신하고 있다. 반도체，LCD 산업에서 모노실란이 실리콘 증착용으로 사용량이 꾸준히 늘어나는 추세인 데다 태양전지 제조에도 모노실란 사용이 새롭게 증가하고 있기 때문이다.

문 대표는 "모노실란 시장은 가격경쟁력이 관건"이라며 "코아텍은 저렴한 가격으로 고순도 모노실란을 생산할 수 있는 기술을 확보했고 소량생산에서도 제조원가를 낮출 수 있는 새로운 공법을 개발하고 있다"고 밝혔다.

코아텍㈜은 1999년 반도체 공정에서 발생하는 유해가스 제거용 화학약제 개발을 시작으로 설립했다.

이후 특수가스 국산화 개발과정을 거치면서 모노실란 기술 및 생산 노하우를 쌓았다. 2005년부터는 NH3，Cl2，HBr，??와 같은 고순도 특수가스 정제설비를 자체 기술로 건설하며 특수가스 전문 업체로 성장했다. 국내 특수가스시장은 대부분 수입에 의존하는 실정이어서 코아텍㈜의 입지는 탄탄하다.

특히 특수가스 품질이 해외제품과 비교해 전혀 손색이 없어 내수시장을 비롯해 대만，중국 등 해외에도 수출되고 있다. 지난해에는 '100만불 수출 탑'을 달성했다.

신재섭 기자 shin@hankyung.com