에스에프에이가 플라즈마 화학증착장비(PE CVD)의 국산화에 성공, 삼성전자에 납품합니다. 에스에프에이는 삼성전자가 3분기 가동할 예정인 충남 탕정 8세대 액정표시장치(LCD) 증설 공장에 플라즈마 화학증착장비(PE CVD)를 공급한다고 밝혔습니다. 플라즈마 화학증착장비는 LCD 유리기판 위에 분자나 원자 단위의 물질을 입혀 전기적 특성을 갖게 하는 LCD 공정 핵심 장비입니다. 국산화한 사례는 LG디스플레이에 납품하는 주성엔지니어링이 유일하며, 삼성전자는 그동안 미국 AKT로부터 플라즈마 화학증착장비를 전량 도입해 왔습니다. 양재준기자 jjyang@wowtv.co.kr