현대전자가 4기가비트(1기가비트=10억비트)D램 반도체용 화학재료
양산기술을 수출한다.

현대전자는 4기가D램 이상의 고집적 반도체 생산에 사용하는 화학
재료인 아르곤플로라이드 계열 감광제(ArF)제조기술을 스위스 화학
업체인 클라리언트사에 제공키로 하는 계약을 체결했다고 28일 발표했다.

현대전자는 이번 계약체결로 클라리언트사로부터 매출액 대비 일정
액을 로열티로 받게 되는데 앞으로 10년간 감광제 기술 수출로 6천만
달러이상의 수익을 얻게 될 것으로 전망했다.

또 차세대 ArF 감광제를 안정적으로 확보할수 있고 칩 제조원가중
25%를 차지하는 원료비를 절감할수 있으며 2000년 국내 전체적으로
2천억원 가량의 수입대체 효과도 기대했다.

감광제는 반도체 초미세 회로를 웨이퍼에 형성시킬때 사용하는 고분자
원료로 고집적 반도체의 품질을 좌우하는 핵심적 역할을 한다.

ArF 감광제를 사용할 경우 반도체 회로선폭을 0.11미크론(1미크론은
1백만분의 1m)수준으로 미세화할수 있어 4기가D램 개발기간을 2년정도
단축할수 있고 256메가D램 생산에 적용시 웨이퍼당 칩 생산개수를
크게 늘릴수 있다고 현대측은 설명했다.

감광제 세계시장 규모는 98년 2천5백억원에서 2000년 6천7백억원
규모로 늘어날 것으로 예상되며 현재 64메가D램에 사용되는 크립톤
플로라이드(KrF)감광제는 올해말부터 ArF 감광제로 대체될 것으로
보인다.

스위스 무텐쯔에 본사를 두고있는 클라리언트사는 연간 매출액이
1백억스위스프랑(8조3천억원)이며 세계 90여개국 1백30여곳에 사업장을
갖고 있다.

강현철 기자 hckang@

( 한 국 경 제 신 문 1999년 4월 29일자 ).