어플라이드 머티리얼즈 코리아(대표 이영일)이 차세대 고성능 반도체를
만드는데 필수불가결한 기술로 등장하고 있는 구리배선공정을 위한 토탈솔
루션(ESS)을 국내에서 처음으로 선보였다.

구리를 반도체 재료로서 이용하는 것은 반도체제조공정의 근본적인 변화
를 몰고 온다.

어플라이드 머티리얼즈사가 개발한 구리배선 ESS는 구리를 이용한 반도체
소자가 시장에 출시될 수 있는 시간을 획기적으로 앞당겨 줄 수 있는 장비
라고 이영일 사장은 설명했다.

이 장비는 다층 구리 배선을 완벽하게 제조할 수 있는 업계 최초의 집적
공정모듈로 업체별 소자 특성을 살린 최적의 구리공정전체를 구성할 수 있
도록 지원해 줄 수 있는 것이 장점이다.

이 회사는 특히 이번 장비개발과 관련,장비공정집적센터(EPIC)를 설치했다.

이 센터에서는 3백여개에 달하는 검증 및 사전 인증절차를 수행해줘 라인
인증시간을 대폭 줄여 준다.

이같은 기술과 시설덕분에 시험웨이퍼를 사용하여 공정을 인준하는데 걸
리는 시간이 20일이내로 가능하게 됐다.

이에따라 공정 검증에서부터 공정가동,제품양산개시까지 걸리는 시간을
9개월 이상 단축시킬수 있다고 이 회사관계자는 말했다.

어플라이드 머티리얼즈사 코리아는 이 장비를 22일부터 24일까지 COEX에
서 열리는 세미콘 코리아에서 전시한다.

노웅 기자 woongroh@

( 한 국 경 제 신 문 1999년 2월 23일자 ).