일본 반도체 10개사 합작 노광기술 등 공동 개발 .. 세리트

[ 도쿄=김경식 특파원 ]

일본의 반도체업계가 내년 4월부터 노광기술및 제조시뮬레이션기술등
차세대 반도체 생산에 필요한 첨단기술을 공동 개발한다.

일본의 10개 반도체회사가 출자, 설립한 반도체첨단테크놀로지(세리트)는
14일 이같은 사업계획을 확정했다.

세리트는 8백평방m 규모의 크린룸을 설치, 최첨단리소그래피(노광기술)와
TCAD로 불려지는 반도체제조 시뮬레이션기술을 개발키로 했다.

세리트는 80억엔을 들여 오는 2000년까지 불화아르곤노광기술로 회로선폭
0.13미크론, 전자빔노광기술로 0.11미크론짜리를 각각 개발할 계획이다.

세리트는 또 TCAD를 개발하기 위해 10억엔 상당을 투입, 10개사의 개발
부문을 컴퓨터망으로 연결, 프레임워크를 구축하는 한편 시작품생산에
앞서 제조프로세서를 3차원 시뮬레이션할수 있는 시스템을 연구하기로
했다.

(한국경제신문 1997년 7월 15일자).