[ 도쿄=이봉구특파원 ]도쿄일렉트론,프라즈마시스템,럼리서치 등 일본
반도체설비업체들이 수요급증에 대처,증설에 적극 나서고 있다.

도쿄일렉트론은 이와테공장,야마나시공장,사가공장의 에칭(동부식)설비
및 CVD(웨이퍼 위에 막질을 형성하는 화학적 증착)설비 등의 생산능력을
이미 40% 가량 늘렸으며,프라즈마시스템은 본사 소재 공장의 클린룸 처리
능력이 내년 3월 한계에 달하기 때문에 연내에 야마나시현에 LCD제조설비
공장을 건설한뒤 본사공장을 반도체제조설비 전문공장으로 전환하기로 했다.

미국 럼리서치의 일본 현지법인도 에칭설비 판매가 호조를 보임에 따라
공장 신설을 검토하고 있으며 시험설비업체인 어드밴티스트는 잔업시간을
늘려 증산에 주력하고 있다.

일본 반도체설비업체들이 증설.증산에 나서고 있는 것은 공급이 수요에
미치지 못하고 있기 때문인데 도쿄일렉트론의 경우 3월말현재 수주잔량이
전년동기대비 1백18.7% 증가한 1천3백10억엔에 달했으며 어드밴티스트도
시험설비 주문이 늘어 2백49.7% 증가한 2백81억엔을 기록했다.

(한국경제신문 1995년 6월 27일자).