<해외경제>일, 고성능주사이온현미경장치개발[일공업신문]
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일본의 세이코전자공업은 분해능력 10나노미터, 빔전류밀도 1평방미터
당 10암페어를 달성, 세계최고성능을 가진 주사이온현미경장치 ''SM19800''
을 개발, 최근 발매했다. 가격은 1억2,000만엔. 초년도 판매목표는 15대.
반도체개발용 이온빔장치의 새로운 시리즈. 새로 개발된 이온경통을 채택,
고분해능력을 달성, 64메가DRAM등의 최첨단디바이스에 대항할수있게됐다.
가공시간과 가공정도를 높이는 빔전류밀도화로 해석시간이 크게 단축된다.
당 10암페어를 달성, 세계최고성능을 가진 주사이온현미경장치 ''SM19800''
을 개발, 최근 발매했다. 가격은 1억2,000만엔. 초년도 판매목표는 15대.
반도체개발용 이온빔장치의 새로운 시리즈. 새로 개발된 이온경통을 채택,
고분해능력을 달성, 64메가DRAM등의 최첨단디바이스에 대항할수있게됐다.
가공시간과 가공정도를 높이는 빔전류밀도화로 해석시간이 크게 단축된다.