일본의 마쓰시타전기산업은 최근 스패터증착도 가능한 소형플라스마

MOCVD(유기금속화학기상성장)장치를 개발했다고 발표했다. 이는 유전체

나 자성체등의 기능성세라믹스박막을 만드는데 가장 적합한것으로 보여

진다. 마쓰시타기연을 통해 대당 3,000만엔에 연말부터 시장에 투입한다.

플라스마MOCVD는 마쓰시타의 독자적인 성막기술로 MO가스와 산소등의 반

응가스를 혼합, 진공속에서 플라스마로 분해, 기판위에 박막을 만든다.