SKC가 CD LD등 광광제품의 도포막두께 측정에 사용되는 초정밀광학측정
장치(ellipsometer)<사진>를 개발했다고 14일 밝혔다.

초정밀광학측정장치는 빛을 이용해 얇은 막의 두께와 빛의 굴절률을 측
정하는 장비로 도포막 두께를 0-2천 옹스트롬(1옹스트롬은 1억분의1mm)까
지 측정할 수 있는 첨단장비이다.

이제품은 컴퓨터 콘트롤러 광학장치의 3부분으로 구성됐으며 편광상태의
빛을 쬔뒤 이를 분석,박막의 두께를 측정해 초정밀제품생산을 가능토록
하는 기능을 갖고 있다.
이회사는 이제품이 반도체 표면박막및 증착막 연구등에 사용될 수 있어
사용 폭이 넓다며 앞으로 수출도 적극 추진할 계획이라고 설명했다.