전북대, 반도체 플라스마 연구로 국제학술 논문 '최우수'

전북대학교는 민주화 박사(전기공학과 졸업)가 IEEE(Energy Conversion Congress & Expo) 국제학술대회에서 산업응용 분야 최우수 논문상을 받았다고 21일 밝혔다.

이 국제학술대회는 국제전기전자학회가 주관하는 전기 및 전기동력 에너지변환 분야 최대 규모의 국제학회 행사다.

민 박사는 올해 856편의 연구 성과 가운데 '반도체 공정 플라스마 장비의 성능 향상 커패시터' 연구로 최우수 논문상을 수상했다.

그는 전력용 반도체 소자 기반의 변환 회로 방식을 활용해 기존 장비의 동작 시간을 1천배 이상 단축함으로써 반도체 플라스마 공정 시간의 단축과 생산성 향상을 이끌 것으로 평가받았다.

성과는 국제전기전자학회 산업응용 논문지에 게재됐다.

그의 연구는 과학기술정보통신부가 지원하는 한국연구재단 중견연구자지원사업 지원을 받아 수행됐다.

/연합뉴스