포스코케미칼, OCI와 손잡고 반도체 세정 과산화수소 생산

포스코케미칼이 OCI와 손잡고 국내 최초로 부생수소를 활용해 반도체 공정 소재인 고순도 과산화수소 생산에 나선다.

포스코케미칼과 OCI의 합작법인 피앤오케미칼은 전남 광양시에서 과산화수소 생산공장 착공식을 28일 열었다. 완공 시점은 2022년 5월이다. 포스코 광양제철소에서 공급받는 철강 공정 부산물인 코크스오븐가스(COG)를 원료로 연 5만t의 고순도 과산화수소를 생산할 예정이다. 피앤오케미칼은 포스코케미칼이 51%, OCI가 49% 지분을 보유하고 있다.

피앤오케미칼이 생산하는 과산화수소는 반도체 생산공정의 세정을 위한 필수소재로 사용된다. 반도체와 디스플레이 등 산업용에는 메탈 함량을 10ppb(10억분의 1)에서 1ppt(1조분의 1)까지 고순도로 정제된 제품이 사용된다.

최만수 기자 bebop@hankyung.com