日 수출규제 1년 만에…SK, 불화수소 국산화

감광액 개발도 적극 나서

SK그룹이 공들여온 반도체 소재 국산화가 결실을 맺고 있다.

SK그룹은 그룹 내 반도체 소재 생산 회사인 SK머티리얼즈가 최근 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 17일 발표했다. SK머티리얼즈는 작년 말 시제품 개발에 성공하고 경북 영주공장에 15t 규모 생산시설을 지었다.

초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 핵심 소재다. 작년 7월 일본이 한국을 화이트리스트(수출절차 간소화 국가)에서 배제하며 단행한 수출규제 조치에 해당하는 3개 품목(불화수소, 폴리이미드, 포토레지스트) 중 하나다. 반도체 공정 미세화로 수요는 급증하는데 해외 의존도가 100%에 달했다. SK머티리얼즈는 2023년까지 국내 불화수소 시장 점유율을 70%까지 끌어올릴 계획이다.

SK머티리얼즈는 포토레지스트(감광액) 개발에도 나섰다. 포토레지스트는 빛의 노출에 반응해 반도체 회로패턴을 구성하는 필수 재료다.

이 회사는 내년에 400억원을 투자해 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만 갤런 규모 포토레지스트를 생산할 계획이다. 포토레지스트 보조재인 하드마스크(SOC)도 생산한다. SK머티리얼즈는 지난 15일 이사회에서 이 같은 방안을 결정했다. 공장 부지는 세종시가 유력하다.

최만수 기자 bebop@hankyung.com