테스는 31일 기판처리장치와 관련한 특허권은 취득했다고 밝혔다.

회사 측은 "이 발명이 적용된 기판처리장치가 사용된 식각장치에서는 식각 공정중에 기판이 일정한 온도로 유지될 수 있어 공정이 효과적으로 수행된다는 이점이 있다"면서 "식각 부산물이 파우더 형태로 챔버에 응축되는 것을 효과적으로 방지해 기판의 제조 품질을 향상 시킬 수 있다"고 설명했다.

한경닷컴 최성남 기자 sulam@hankyung.com