테스, 기판리프트 어셈블리 특허권 취득

테스가 기판 리프트 어셈블리에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

테스는 특허 내용에 대해 리프트 핀을 리프트 홀 내의 정확한 위치에 정렬시킬 수 있어 리프트 홀 또는 리프트 핀의 제작 오차 또는 설계 변경이 있더라도 대응이 용이할 뿐만 아니라 조립 작업을 용이하고 신속하게 진행 할 수 있다고 밝혔다.

테스는 이 특허를 통해 반도체장비 제조시 특허기술 적용을 통한 경쟁력을 강화하고, 기술경쟁력과 원가경쟁력 향상, 반도체와 태양전지 장비 개발에 활용할 것이라고 밝혔다.

유주안기자 jayou@wowtv.co.kr