주성엔지니어링 "반도체소자 제조관련 특허권 취득"

입력2009.07.14 10:53 수정2009.07.14 10:53

주성엔지니어링은 14일 회전형 가스분사기를 가지는 반도체소자 제조장치 및 방법에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

한경닷컴 변관열 기자 bky@hankyung.com

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