차세대 반도체 검사장비 국산화…탑엔지니어링, 내달 양산

TFT-LCD 및 LED 공정장비 전문업체인 탑엔지니어링(대표 김원남)이 자회사 아이엠텍을 통해 국내 처음으로 300㎜웨이퍼 프로브카드 핵심부품인 스페이스트랜스포머(ST)를 국산화했다고 22일 밝혔다.

스페이스트랜스포머는 정밀다층세라믹(PMLC)기술을 이용해 생산되는 차세대 프로브카드 핵심부품으로 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 데 쓰인다. 프로브카드는 반도체의 동작을 검사하기 위해 반도체칩과 테스트장비를 연결하는 핵심 장치로 카드에 장착돼 있는 프로브 바늘이 웨이퍼에 접촉하면서 전기를 보내고 돌아오는 신호에 따라 불량 반도체 칩을 선별하게 된다. 이 제품은 엔티케이(NTK),교세라(Kyocera) 등 일본 업체가 전 세계 시장을 독점하고 있다.

회사 관계자는 "현재 시험테스트를 끝냈다"며 "다음 달부터 본격 양산에 나서 향후 연간 500억원의 매출 및 수입대체효과를 기대하고 있다"고 설명했다.

김후진 기자 jin@hankyung.com