광주과학기술원 학생벤처창업기업인 ㈜모티브(대표 오재석·www.motiveline.com)는 반도체 다층박막(multi layer thin film)의 두께와 색도 측정장비(FilmExp)를 개발했다고 2일 밝혔다.

이 장비는 두께와 색도를 동시에 측정,측정시간을 줄여 반도체 생산성을 높일 수 있다는 것이 특징이다.

대부분 수입품인 기존 제품은 다층박막의 두께와 색도를 각각 따로 측정,측정 시간이 길다는 단점이 있다.

반도체 두께와 색도 측정은 반도체의 저항 등 제품 균일성을 측정하는 반도체 제조의 필수과정이다.

특히 이 제품의 크기가 수입품의 3분의 1 정도로 소형인 데다 가격은 40% 수준에 불과하다.

이 회사는 이 제품으로 올해 5억원의 매출을 올릴 계획이다.

광주과기원 신소재공학과 박사과정을 밟고 있는 오재석 사장(36)은 "올해 안에 초고속 반도체 300㎜ 웨이퍼 박막두께 측정시스템(FilmExp Oneshot)을 선보일 것"이라며 "향후 반도체 생산라인에 적용할 수 있는 새로운 시스템 개발과 반도체 및 LCD 측정시스템 분야에도 진출할 예정"이라고 밝혔다.

광주=최성국 기자 skchoi@hankyung.com