지난 1994년 진공장비 제조를 목적으로 설립된 퀄리플로나라테크(대표 이종구)는 반도체 산업분야,진공산업분야 및 광섬유 산업분야에 적용되는 다양한 양산용 제조 설비 제작에 주력해 왔다. 특히 주요장비의 국산화 및 신기술 개발을 사업목표로 연구개발에도 주력한 공로로 대통령 표창을 받게 됐다. 1997년에는 당시 현대전자의 협력업체로 지정된 데 이어 1999년에는 삼성전자와 LG필립스LCD의 협력업체로 지정되는 등 국내 주요 전자업체들에 부품을 납품하고 있다. 1999년에는 프랑스 퀄리플로사의 자본 참여로 외국인 투자기업으로 등록됐으며,이듬해인 2000년에는 '국내 100대 벤처기업'으로 선정되기도 했다. 작년 말 기준으로 총자산 156억원,매출액 82억원을 기록했으며 올해는 약 100억원의 매출 달성을 목표로 하고 있다. 이 회사는 설립 초기부터 국산화 장비 개발에 총력을 기울였다. 1994년에는 자동차 사이드 미러 생산이 가능한 '인 라인 스퍼터링 시스템(In-Line Sputtering System)'을 국내 최초로 개발하는데 성공했다. 2001년에는 8인치 실리콘 단결정 성장 장치를 국내 최초로 개발한 데 이어 다음 해엔 12인치 실리콘 단결정 성장장치를 개발하는데 성공했다. 12인치 실리콘 단결정 성장장치는 실리콘 웨이퍼의 기반이 되는 실리콘 잉곳(실리콘으로 만든 원기둥)을 성장시키는 장치다. 따라서 12인치 단결정 성장장치 기술은 국내 첨단 기초 소재 산업인 12인치 실리콘 웨이퍼 산업의 생존과도 직결되는 첨단 기술이다. 실리콘 웨이퍼란 집적회로를 만드는 토대가 되는 얇은 규소판이다. 당시만 해도 전량 수입에 의존하던 이 장치를 국산화하는데 성공함으로써 2010년까지 약 1050억원의 수입대체 효과를 거둘수 있을 것으로 회사측은 예상하고 있다. 이 회사는 현재 실리콘 웨이퍼 제조업체인 LG실트론에서 사용하는 12인치 실리콘 단결정 성장 장치 전량을 공급하고 있다. 현재 이 장치를 생산하고 있는 나라는 한국 외에 미국 일본 독일 등 세나라 뿐이다. 12인치 실리콘 단결정 성장장치는 그 우수성을 인정받아 2004년 산자부 기술표준원에서 신기술(NT) 인증 및 2005년에는 산업자원부에서 세계 일류상품으로 선정된 바 있다. 이 회사는 이 밖에 2002년에는 국가산업의 기술 향상을 목표로 연구기관과의 산·학 협력 연구를 꾸준히 수행한 공로를 인정받아 중소기업기술혁신대전 유공자 대통령상 표창을 받기도 했다. 김동윤 기자 oasis93@hankyung.com