** 배상만 < 현대전자산업 메모리개발연구소 선임연구원 >

반도체 제조공정기술은 웨이퍼에 회로선폭을 형성해 가는 포토공정
식각공정 박막공정 이온주입공정 등 4분야로 나눠진다.

이 가운데 포토공정에는 광학 화학 등 종합적인 기초과학기술이 요구된다.

이번에 발명대왕으로 금탑산업훈장을 받은 배상만 선임연구원은 포토공정에
대한 기술개발을 담당하고 있다.

현재 국내 62건, 해외 71건 등 1백33건의 등록특허를 가지고 있으며 수십건
을 출원하고 있다.

배 선임연구원은 기존 공정기술에서 발생하는 문제점을 집요하게 파고 들어
새기술을 만들어낸다.

반도체 생산효율을 높인 제조공정 결함검사 및 분석방법, 도량형 분야의
공정시간 단축 등과 관련된 특허기술들이 그것이다.

3년전 개발한 초미세 패턴형성기술은 이미 기초기술 검증을 마친 것으로
잠재적인 기술적용분야가 무한하다는 평가를 받고 있다.

그는 사용자 위주의 기술개발을 강조한다.

반도체 제조공정엔 대부분 값비싼 장비가 사용된다.

따라서 이용하는 사람이 손쉽고 간편하게 쓸수 있으면 거액의 설비투자가
제값을 못하게 된다는 것이다.

배 선임연구원의 겸손함과 부지런함은 유명하다.

업무시간에 문제를 해결하지 못하면 출퇴근 버스나 집에서도 아이디어를
짜내느라 고심한다.

그는 앞선 기술이 차곡차곡 쌓여 최첨단 기술개발의 밑거름이 된다며 선배
개발자와 동료에게 공을 돌렸다.

< 김낙훈 기자 nhk@ >

( 한 국 경 제 신 문 1999년 5월 19일자 ).