에피택셜 웨이퍼 제조장비 양산 .. 주성엔지니어링

주성 엔지니어링(대표 황철주)이 국내최초로 에피택셜(Epitaxial) 웨이퍼
양산용 성장 장비인 유레카 2000E를 개발, 본격 시판에 나섰다.

이 장비는 그동안 국내소자업체들이 어플라이드머터리얼스나 ASM 등과
같은 외국업체로부터 전량 수입, 사용해 오던 것이어서 수입대체효과가
기대된다.

에피택셜웨이퍼는 기존 실리콘 기판 위에 화학증착막을 이용, 또 다른
단결정 반도체 막을 형성시킨 것.

이 장비는 기존장비보다 저온 공정(섭씨 6백~8백50도)을 채택, 불순물
(Dopant)의 불균일한 확산이나 고온 공정에서 발생되는 웨이퍼의 휨 등을
방지한 것이 장점이라고 회사측은 밝혔다.

또 단일 증착방 내에서 사전세정(Pre-Cleaning)과 증착을 같이 할 수 있고
수소 및 염소계열의 오염원을 대폭 줄일 수 있는 화학과정을 채택했다.

주성은 이번에 개발된 장비가 향후 고부가가치 비메모리제품과 고집적
메모리 제품생산라인에 확대채용이 기대되는 제품이라고 설명했다.

< 노웅 기자 woongroh@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 9월 29일자 ).